气体名称 |
规格 |
主要用途 |
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气体纯度% |
气体装量 |
钢瓶体积/L |
阀门型号 |
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氮 |
N6.0 |
13MPa |
40 |
G5/8 |
在电子工业中氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。 |
N6.0 |
13MPa |
40 |
CGA580 |
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N6.0 |
13MPa |
40 |
CGA540 |
|
纯氮、氮、氮(GB/T8979-2008) |
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项目名称 |
指标 |
|||
氮 |
氮 |
纯氮 |
||
氮气(N2)的体积分数/10-2 |
≥ |
99.9999 |
99.999 |
99.99 |
氧气(O2)的体积分数/10-6 |
≤ |
0.1 |
3 |
50 |
氩(Ar)的体积分数/10-6 |
≤ |
2 |
— |
— |
氢气(H2)的体积分数/10-6 |
≤ |
0.1 |
1 |
15 |
一氧化碳(CO)的体积分数/10-6 |
≤ |
0.1 |
1 |
5 |
二氧化碳(CO2)的体积分数/10-6 |
≤ |
0.1 |
1 |
10 |
甲烷(CH4)的体积分数/10-6 |
≤ |
0.1 |
1 |
5 |
水分/10-6 |
≤ |
0.5 |
3 |
15 |
注:表中纯度和含量均以体积分数表示(V/V)。 |