气体名称
规格
主要用途
气体纯度%
气体装量
钢瓶体积/L
阀门型号
氮
N6.0
13MPa
40
G5/8
在电子工业中氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。
CGA580
CGA540